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  1．はじめに 近年、工作機械の加工精度が向上し、ワーク精度が飛躍的にアップしてきた。このような背景により測定機に求められる精度もアップし今までのμmオーダからサブμmオーダ、更にはナノメートルオーダの世界に進展しつつある。 そこで、ミツトヨは次世代CMMの一環として超高精度三次元測定機「LEGEXシリーズ」を開発し、ユーザニーズに応えるべく市場へ投入した。 ここではLEGEX開発に関連した基幹技術を説明し、LEGEXシリーズの仕様及び性能まで紹介する。 2．超高精度化実現へのアプローチ 2-1 基本構造 精度を追求するためにアッベのオフセット誤差を極力抑えるために門固定・テーブル移動形を採用。 更にFEM解析（図1）を駆使した最適構造設計を実現。 2-2 測長技術 3軸の基準となる測長系には最小分解能0.01μmを可能にした新開発のリニアエンコーダシステムと線膨張係数0.01x10-6/℃という熱膨張がほぼ“ゼロ”である結晶化ガラススケールを搭載し、超高精度化を実現し、かつ熱的安定性の向上も達成した。図2に検出原理図を示す。
3．LEGEXシリーズ仕様 3-1 LEGEXシリーズ外観と仕様 LEGEXシリーズの代表としてLEGEX12128の外観図を図5に、シリーズ仕様を表1に示す。
表１ LEGEXシリーズ 仕様
4．LEGEXシリーズ性能評価 図6にLEGEX12128、図7にLEGEX9106をISO10360-2のCMM検査規格で検査した結果を示す。 赤のラインが精度の規格値で、測定位置30mmから1000mmまで各々5回繰返し測定を行った。
5．おわりに 超高精度三次元測定機「LEGEXシリーズ」の仕様と要素技術の一端を紹介した。今後更なる技術の向上を図りシリーズの性能・機能を充実させた新商品を開発して行く予定です。
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